電感耦合等離子體光譜儀(ICP-OES)是利用電感耦合等離子體作為激發源的無機元素分析儀器，能同時測定多種金屬和非金屬元素，適配常量到痕量濃度分析，應用覆蓋科研與工業多領域。

　　電感耦合等離子體光譜儀的工作原理如下：

　　高頻振蕩器產生的高頻電流通過耦合系統連接至等離子體發生管上端的銅制線圈。石英制成的等離子體發生管內設有三個同軸氬氣流經通道：

　　冷卻氣(Ar)：通過外部及中間通道環繞等離子體，穩定等離子體炬并冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化。

　　工作氣體(Ar)：由中部石英管道引入，啟動高壓放電裝置使其電離。電離氣體經過高頻感應圈時，線圈產生的巨大熱能和交變磁場使電子、離子與基態原子反復碰撞，形成溫度高達6000-10000℃的等離子體炬區。

　　樣品經處理制成溶液后，通過超霧化裝置轉化為全溶膠，由底部導入管內并經軸心石英管噴入等離子體炬。樣品氣溶膠進入等離子體焰時，絕大部分立即分解為激發態的原子和離子。當這些激發態粒子返回基態時，會釋放特定波長的光譜。通過測定每種元素的特征譜線和強度，并與標準溶液對比，即可確定樣品中元素的種類和含量。